一、采购人名称:浙江师范大学
二、采购项目名称:派拉伦真空沉积系统
三、采购组织类型:分散采购
四、采购项目概况
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序号 |
名称 |
数量 |
预算金额(元) |
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1 |
派拉伦真空沉积系统 |
1 |
410000 |
五、拟采用的采购方式:单一来源
六、申请理由:
派拉伦真空沉积系统是使用单位拟建设的科研平台项目的关键设备和核心组成部分之一,申请单一品牌的理由如下:
(1)派拉伦真空沉积系统为美国品牌的进口设备,北京三吉世纪科技有限公司是该设备在国内唯一代理商,设备的主要技术参数如下:
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蒸发腔 |
蒸发腔材料 |
耐高温不锈钢 |
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蒸发腔料门 |
耐高温不锈钢,与蒸发室同步加热 |
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蒸发腔温度 |
室温~180℃,1℃增量,PID控制 |
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蒸发腔原料容积 |
不小于125g |
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裂解腔 |
裂解腔材料 |
耐高温不锈钢 |
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裂解腔温度 |
室温~720℃,1℃增量,PID控制 |
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沉积腔 |
沉积腔材料 |
不锈钢电抛光处理,带玻璃观察窗 |
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沉积腔尺寸 |
12英寸直径 x 12英寸高,有效空间可容纳8英寸晶元 |
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沉积腔内导流 |
直立导流管,导流气孔疏密分布 |
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工件旋转台 |
沉积腔内带旋转台和工装架 |
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冷阱 |
制冷方式 |
独立可移除的机械制冷机,方便维护 |
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制冷温度 |
最低温度满足-90℃ |
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制冷效率 |
室温降到-75℃时间小于20min |
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真空系统 |
真空泵 |
世界知名品牌机械旋片泵 |
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真空泵抽速 |
不低于8cfm/min |
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系统极限真空 |
沉积腔空载真空度小于5x10-3mbar |
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控制系统 |
控制方式 |
PLC/过程控制器或计算机控制 |
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沉积过程控制 |
压力闭环控制/沉积压力控制蒸发速率 |
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操作方式 |
手动操作/自动操作 |
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安全 |
所有加热装置配有热熔断器物理保护,设备状态报警 |
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运行环境 |
系统供电 |
3.5KW/AC220V/50Hz ±5% |
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排气 |
设备有真空泵排气接口 |
可见具有很高的性能指标,完全符合本项目的技术参数和配置需求,而国产设备或进口同类价格设备在功能、可靠性及稳定性上很难达到项目指标要求。经过前期调研,具体来说,国内该类设备的控制方法是采用蒸发温度控制,不是沉积压力控制,因此无法得到稳定的压力值,对高要求的镀膜应用有局限性。另外国产设备关键的部件真空泵品质要比进口Edwards的品质和性能差很多,因此从设备的功能、可靠性及稳定性考虑,希望购买进口的世界知名产品。
(2)设备购入后满足工业设计、机械制造、交通运输、艺术设计等专业课程的应用需求和相关人才的技术培训,能够支撑高精密加工、材料研究和MEMS微器件研发等方向的科研需要和科研队伍培养,尤其是可以同时满足学院本科生与研究生教学实验、科研训练及实验室开放项目需求。
(3)设备可用于学校工科专业开展微机电系统、机械制造、材料加工等相关课程的教学实验实训平台。能够支撑《微机电系统》、《微纳成形技术概述》、《流体力学》、《流体机械》、《压电流体俘能器》、《压电精密驱动器》等课程的实验教学,同时可应用于微小型机械产品、电子产品和生物医疗产品的试制。
(4)设备既适用于金属材料表面沉积薄膜也适用于非金属材料材料表面沉积薄膜,可广泛应用于各类机械、电子和生物微小型器件的封装与绝缘,具备良好对外服务潜力。
(5)综合来说,设备选型合理,技术上有一定的前瞻性,能满足工学院等相关院系的教学、科研、社会服务。与此同时,本品牌设备为进口设备,售后服务响应速度高,且采购订货时限满足本项目采购计划需求。
七、拟定供应商:北京三吉世纪科技有限公司
八、专业人员信息及意见:
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专业人员姓名 |
专业人员职称 |
专业人员工作单位 |
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黄东明 |
教授级高级工程师 |
浙江省农机研究院 |
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张联升 |
教授级高级工程师 |
浙江金轮机电实业有限公司 |
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盛继生 |
教授 |
金华职业技术学院 |
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商 峻 |
高级工程师 |
金华市交通投资集团有限公司 |
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赵晓瑜 |
董事长 |
浙江正达检测科技有限公司 |
专业人员对供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见:
派拉伦真空沉积系统是使用单位拟建设的科研平台项目的关键设备和核心组成部分之一,具有以下主要功能及作用:
(1)拟购品牌型号的派拉伦真空沉积系统能够满足用户的指标要求,其它国产的类似厂家及型号以及其它同价位进口产品无法满足用户指标表求;
(2)设备购入后支撑微小型机械、电子和生物医疗器件/样机/系统等科研成果的验证和科研队伍培养。
(3)设备购入后能为浙中南地区机械、电子和生物医疗器件的金属与非金属材料材料表面沉积薄膜提供社会化服务。
(4)所购设备能够满足本项目完工时限要求,能够在规定时间内完成采购。
经专家组评定认为,该设备适用于高精密封装技术教学、科研、应用,满足科研平台建设的需求,技术上有一定的前瞻性,建议单一品牌购买。
九、其他事项: 供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的,可以自本公示发出之日起五个工作日内,以书面形式向浙江师范大学采购管理办公室提出异议。联系电话:0579-82282070,谢老师。